铝掺杂氧化锌(AZO)废弃靶材回收再利用的研究

【类型】期刊

【作者】董雪振 吴任平 

【刊名】材料导报

【关键词】 AZO靶材 回收利用 AZO残靶

【摘要】将AZO原料粉末和AZO残靶研磨后的粉末混合,采用注浆成型和常压大气烧结工艺制备靶材,实验主要测试了相对密度、吸水率、线收缩率和电阻率等性能,并通过XRD和SEM表征AZO靶材的晶体形态和微观结构,与新靶材进行性能对比,研究残靶粉末回收利用对靶材性能的影响.残靶粉末的加入对AZO靶材有轻微影响,测试结果显示烧结温度1450℃、保温5h、AZO残靶加入量为10％时有较好的性能:相对密度高达99.24％,吸水率和收缩率分别为17.96％和15.70％,电阻率为2.12×10-3Q· cm.含有残靶的AZO靶材稍差的性能可能归结于AZO粉末和残靶粉末的兼容性.

【年份】2015

【期号】第2期

【页码】105-109

【作者单位】福州大学材料科学与工程学院；福州大学建筑学院

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