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溶胶-凝胶法制备钛酸铝薄膜的工艺研究
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作者：
江伟辉
冯果
刘健敏
朱庆霞
于云
来源：
中国陶瓷
年份：
2010
文献类型 ：
期刊
关键词：
钛酸铝薄膜
溶胶
碳化硅
凝胶法
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描述：
采用溶胶-凝胶法,以钛酸四丁酯（Ti（OC4H9）4）和硝酸铝（Al（NO3）3.9H2O）为前驱体,乙醇为溶剂,利用硝酸铝中所含的结晶水进行水解反应,制备了适于镀膜的钛酸铝溶胶。利用旋转粘度计、光学显微镜和SEM研究了水解抑制剂种类及用量、pH值、前驱体浓度、陈化时间等因素对镀膜效果的影响。在此基础上,采用浸渍-提拉法经过三次镀膜在碳化硅基片上成功制备出均匀、致密的钛酸铝薄膜。