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浮雕矩形光栅刻槽深度的衍射测量方法
作者: 刘荣祁   陈建荣   林宝卿   庄其仁   来源: 应用激光 年份: 2009 文献类型 : 期刊 关键词: 衍射测量   刻槽深度   浮雕矩形光栅  
描述: 当激光束投射在浮雕光栅上,透过光栅的衍射光斑就反映了浮雕光栅的表面信息。提出一种浮雕矩形光栅刻槽深度的高精度衍射测量方法。分别采用两个激光波长垂直入射光栅表面,测量透过光栅的0级和1级衍射光强
线偏振超高斯光束通过矩形浮雕光栅的传输
作者: 张丽娟   李建龙   来源: 激光杂志 年份: 2009 文献类型 : 期刊 关键词: 矩形浮雕光栅   超高斯光束   “逆规则”傅里叶模式理论  
描述: 利用严格的"逆规则"傅里叶模式理论,研究了超高斯光束在特征尺寸可与波长相比拟的矩形浮雕介质光栅中的传输,分析了光束中心入射角、入射点位置、光束束宽对栅体内光强空间分布及其对称性的影响。最后,数值比较了它们的相对误差为1%时,对光强空间分布形状的影响,结果表明入射点的纵坐标z0的误差可容度最小,束宽w0最大。
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