溶胶-凝胶法制备钛酸铝薄膜的工艺研究

日期:2010.01.01 点击数:6

【类型】期刊

【作者】江伟辉 冯果 刘健敏 朱庆霞 于云 

【刊名】中国陶瓷

【关键词】 钛酸铝薄膜 溶胶 碳化硅 凝胶法

【资助项】国家自然科学基金项目,中国科学院特种无机涂层重点实验室开放基金资助

【摘要】采用溶胶-凝胶法,以钛酸四丁酯(Ti(OC4H9)4)和硝酸铝(Al(NO3)3.9H2O)为前驱体,乙醇为溶剂,利用硝酸铝中所含的结晶水进行水解反应,制备了适于镀膜的钛酸铝溶胶。利用旋转粘度计、光学显微镜和SEM研究了水解抑制剂种类及用量、pH值、前驱体浓度、陈化时间等因素对镀膜效果的影响。在此基础上,采用浸渍-提拉法经过三次镀膜在碳化硅基片上成功制备出均匀、致密的钛酸铝薄膜。

【年份】2010

【期号】第11期

【页码】31-34

【作者单位】景德镇陶瓷学院材料科学与工程学院;中国科学院特种无机涂层重点实验室

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